X熒光光譜儀分析模式及優(yōu)點(diǎn)

發(fā)布日期：2019-10-22 11:04:51 來源：互聯(lián)網(wǎng)

X熒光光譜儀一般有以下三點(diǎn)分析模式：

1、點(diǎn)分析

將電子探針固定在試樣感興趣的點(diǎn)上，進(jìn)行定性或定量分析。該方法用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析，例如，對(duì)材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學(xué)計(jì)量材料的組成等分析。

2、線分析

電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描(或試樣掃描) 時(shí)，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對(duì)照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。沿感興趣的線逐點(diǎn)測(cè)量成分，也可以劃出該線的成分變化曲線。

3、面分析

將電子束在試樣表面掃描時(shí)，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮，說明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對(duì)照分析。

點(diǎn)、線、面分析方法用途不同，檢測(cè)靈敏度也不同，定點(diǎn)分析靈敏度，面掃描分析靈敏度。

X熒光光譜儀分析方法有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、分析速度高，測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。

2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。

3、非破壞分析：在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

4、X熒光光譜儀分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

5、X熒光光譜儀的分析精密度高。

6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

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